旋转阴极溅射靶材

※产品名称：旋转阴极溅射靶材
※产品类别：材料
※产品功能：替代现有的平面阴极靶材，提升镀膜效率及减少原材料的损耗；
※应用领域：适用于LCD、OLED、半导体行业磁控溅射/溅镀工艺；
※产品特征：
            1.材料最大利用率: 超过70%
            2.靶面再沉积区域小
            3.无打弧现象
            4.无灰尘颗粒
            5.维护周期长